精度：0.10 - 5.0μm
流量：1.0 CFM（28.3 LPM）
通道：最多8个通道的同步数据
特点：世界上最小的1.0 CFM0.10μm计数器
符合ISO 21501-4标准
长寿命激光二极管
RS-485 MODBUS
不锈钢外壳
提供与设施监控系统的接口
使用外部真空源
专为可靠性而设计
旨在确保21 CFR Part 11与其他软件一起使用时的合规性
探测器阵列设
